Senzor temperature i vlažnosti za shemu kontrole vlažnosti temperature čiste sobe poluvodiča
Product Show
TemperaturaiVlažnost čistog prostora uglavnom se određuje prema zahtjevima procesa, ali pod uslovom ispunjavanja procesnih zahtjeva treba uzeti u obzir osjećaj udobnosti.Sa poboljšanjem zahtjeva za čistoćom zraka, pojavio se trend sve strožijih zahtjeva za temperaturom i vlagom.
Kako je tačnost obrade sve bolja, tako je i raspon temperaturnih fluktuacija sve manji.Na primjer, u procesu litografskog izlaganja velike proizvodnje integriranih kola, razlika koeficijenta toplinskog širenja između staklene i silikonske pločice kao materijala maske mora biti sve manja.Silikonska ploča prečnika 100 um, porast temperature za 1 stepen, uzrokovaće linearnu ekspanziju od 0,24 um, tako da mora postojati temperatura od ±0,1 stepen, u isto vreme je vrednost vlažnosti generalno niska, jer se ljudi znoje, proizvod će imati zagađenje, posebno se boji natrijum poluprovodničke radionice, ova radionica ne bi trebala prelaziti 25 stepeni.
Visoka vlažnost stvara više problema.Kada relativna vlažnost pređe 55%, na zidu cevi za rashladnu vodu će se formirati rosa, što će izazvati razne nezgode ako se dogodi u preciznim uređajima ili strujnim krugovima.Kada je relativna vlažnost 50%, lako je zarđati.Osim toga, kada je vlažnost previsoka, prašina zalijepljena za površinu silikonskog čipa bit će kemijski adsorbirana na površini kako bi se oduprla uklanjanju.Što je veća relativna vlažnost, adhezija se teško uklanja, ali kada je relativna vlažnost niža od 30%, čestice se lako adsorbuju na površinu usled dejstva elektrostatičke sile, a veliki broj poluprovodničkih uređaja se sklona kvaru.Optimalni temperaturni raspon za proizvodnju vafla je 35-45%.
Stoga je kontrola temperature i vlažnosti posebno važna, HENGKO vam može pružiti nizpredajnik temperature i vlažnosti prilagođena rješenja za obradu!
Senzor temperature i vlažnosti za shemu kontrole vlažnosti temperature čiste sobe poluvodiča
Ne možete pronaći proizvod koji zadovoljava vaše potrebe?Kontaktirajte naše prodajno osoblje zaOEM/ODM usluge prilagođavanja! 
