Filtracija visoke čistoće za ultra čistu proizvodnju poluprovodnika
Opis
Filter za gas visokog protoka – Posebno dizajniran za filtraciju procesnog gasa ultra visoke čistoće u proizvodnji poluprovodnika. Precizno konstruisan od nehrđajućeg čelika 316L, odlikuje se dizajnom medija sa više kolona ili slojeva diskova kako bi se osigurao nizak otpor pri visokim protocima, sa tačnošću filtracije koja dostiže 0,003 μm kako bi se zadovoljili zahtjevi ultra visoke čistoće. Potpuno metalna konstrukcija čini ga idealnim rješenjem za filtraciju za dinamička okruženja sa visokim temperaturama.
Karakteristika proizvoda
▶Sva konstrukcija od nehrđajućeg čelika 316L— Osigurava trajnost i otpornost na koroziju.
▶Visok protok, nizak otpor— Optimizovano za visok protok uz minimalni gubitak pritiska.
▶Ultra visoka efikasnost zadržavanja čestica— Odlično za održavanje ultra-čistih uslova.
▶Otporno na visoke temperature, pritisak i koroziju— Pogodno za teške uslove okoline.
▶Kompatibilan s različitim procesnim plinovima— Svestran za višestruke industrijske primjene.
▶Idealno za proizvodnju, testiranje i pakovanje u čistim sobama— Idealno za upotrebu u kontroliranim okruženjima.
▶100% testiranje integriteta— Svaki filter prolazi kroz sveobuhvatno testiranje integriteta radi osiguranja kvalitete.
▶100% testiranje curenja helija— Potvrđeno testiranjem curenja helijumom kako bi se osigurala pouzdanost u kritičnim primjenama.
Tehnički list
Tehnički parametri
| Parametar | Specifikacija |
|---|---|
| Materijal filterskog elementa | Sinterovani prah od nehrđajućeg čelika 316L |
| Materijal kućišta | Nehrđajući čelik 316L |
| Maks. ulazni pritisak | 207 bara |
| Maksimalni radni diferencijalni pritisak | 5,2 bara |
| Stopa curenja helijuma za validaciju | 2 x 10⁻¹⁰ cc/min |
| Stopa curenja pri testiranju helijuma | 1 x 10⁻¹⁰ cc/min |
| Površinska obrada | |
| Vanjska površina | Ra < 1,6 μm |
| Unutrašnja površina | Ra < 0,2 μm |
| Maksimalna radna temperatura | |
| Inertni plin | 400-500℃ |
| Korozivni i reaktivni plin | 50℃ |
| Efikasnost zadržavanja čestica | ≥99,9999999% (9LRV) @ 30 slpm |
| Čistoća nizvodno | ≤0,03 čestica/litri @ > 0,01 μm, 30 slpm |
| Veličina zadržavanja čestica | ≥0,003 μm |
Veličina
Evo kataloškog broja koji možete naručiti i detalja o veličini:
| Model proizvoda | Materijal filterskog elementa | Tačnost filtracije (μm) | Vrsta veze |
|---|---|---|---|
| Z01B-00647 | Nehrđajući čelik 316L | 10~0,003 | 1/4” |
| Z01B-00648 | Nehrđajući čelik 316L | 10~0,003 | 1/2” |
| Z01B-00649 | Nehrđajući čelik 316L | 10~0,003 | 1/8” |
| Z01B-00650 | Nehrđajući čelik 316L | 10~0,003 | 1” |
| Prilagodljivo | Nehrđajući čelik 316L | 10~0,003 | Po potrebi |
Tipične primjene
neke tipične primjeneVisokočisti filteri za velike količine i komunalne filtereiFilteri protoka plina na benzinskoj rampi:
1. Proizvodnja poluprovodnika
*Osigurava dovod ultra čistog plina za izradu pločica, nagrizanje i procese hemijskog taloženja iz pare (CVD).
*Održava visoku čistoću u sistemima za distribuciju gasa u rasutom stanju za azot, argon i druge noseće gasove.
2. Farmaceutska proizvodnja
*Obezbjeđuje sterilan plin bez čestica za kritična proizvodna okruženja.
*Podržava visokočistoću filtracije za čiste sobe i kontrolirana okruženja kako bi se održao integritet proizvoda.
3. Laboratorijski plinski sistemi
*Koristi se u laboratorijskim uslovima za prečišćavanje gasnih tokova u analitičkoj opremi kao što su gasna hromatografija i masena spektrometrija.
*Osigurava visokočiste plinove za istraživačke i testne primjene, štiteći osjetljive instrumente.
4. Prerada hrane i pića
*Filtrira CO₂ i druge plinove koji se koriste u karbonizaciji, pakiranju i skladištenju, održavajući sigurnost i kvalitetu hrane.
*Osigurava snabdijevanje plinom bez kontaminacije u postrojenjima za preradu, posebno za komunalne usluge distribucije plina.
5. Naftna i plinska industrija
*Pročišćava tokove prirodnog plina u filteru za plin, uklanjajući onečišćujuće tvari prije skladištenja ili transporta.
*Štiti nizvodnu opremu uklanjanjem čestica, vlage i nečistoća u sistemima protoka gasa pod visokim pritiskom.
6. Hemijska proizvodnja
*Filtrira korisne plinove poput dušika i argona koji se koriste u kemijskoj sintezi i reakcijama.
*Održava čistoću plina kako bi se spriječila kontaminacija i nedosljednosti u reakcijama.
7. Zrakoplovstvo i odbrana
*Isporučuje visokočiste gasove u proizvodnim i ispitnim okruženjima za vazduhoplovne materijale i komponente.
*Obezbjeđuje konzistentnu čistoću plina u kontroliranim okruženjima za montažu aviona i obrambene opreme.
8. Proizvodnja energije (elektrane)
*Filtrira plinove visokog pritiska za hlađenje i procesne primjene, posebno u okruženjima visoke temperature.
*Povećava efikasnost i smanjuje habanje opreme sprečavanjem kontaminacije u sistemima za hlađenje i protok gasa.
Ovi fFilteri su neophodni u svakoj primjeni koja zahtijeva čist i konzistentan protok plina, poboljšavajući zaštitu opreme,
efikasnost procesa i kvalitet konačnog proizvoda u svim industrijama.
Pošaljite nam svoju poruku:
