poluprovodnički filteri za gas

Zašto je potrebna upotreba plinskih filtera u procesu proizvodnje poluvodiča? 

Plinski filteri su neophodni u procesu proizvodnje poluvodiča iz nekoliko kritičnih razloga:

1. Uklanjanje zagađivača

Proizvodnja poluprovodnika uključuje brojne osjetljive procese gdje čak i najmanji zagađivači,

kao što su čestice prašine, vlaga ili hemijski ostaci, mogu imati štetne efekte. Filteri za plin se uklanjaju

čestice, nečistoće i zagađivači u zraku iz procesnih plinova, osiguravajući čistu okolinu

i održavanje integriteta poluvodičkih pločica.

2. Održavanje standarda ultra-čistoće

Industrija poluprovodnika zahtijeva izuzetno visoke razine čistoće u korištenim plinovima, kao što to mogu i nečistoće

dovode do kvarova u poluvodičkim uređajima. Filteri za plin pomažu u postizanju ultra čistog kvaliteta plina, sprječavajući

kontaminaciju i osiguranje konzistentnosti i pouzdanosti proizvoda.

3. Zaštitna oprema

Zagađivači u plinovima ne samo da mogu oštetiti poluvodičke pločice, već i oštetiti osjetljive

oprema koja se koristi u proizvodnom procesu, kao što su reaktori za hemijsko taloženje pare (CVD) i

sistemi za jetkanje. Filteri za plin štite ove skupe mašine od oštećenja, smanjujući rizik od

zastoja i skupih popravki.

4. Sprečavanje gubitka prinosa

Prinos je ključan u proizvodnji poluprovodnika, gdje defekti mogu uzrokovati znatne gubitke u proizvodnji.

Čak i jedna čestica ili hemijska nečistoća mogu dovesti do gubitka prinosa, što utiče na produktivnost i profitabilnost.

Filteri za plin osiguravaju da su procesni plinovi čisti, minimizirajući kontaminaciju i smanjujući gubitak prinosa.

5. Osiguravanje kvaliteta proizvoda

Dosljednost i kvalitet su najvažniji u proizvodnji poluvodiča. Mogu se stvoriti kontaminirani plinovi

nedosljednosti, što dovodi do nepouzdanih poluvodičkih uređaja. Korištenjem plinskih filtera, proizvođači mogu

jamče da svaka serija ispunjava stroge potrebne standarde kvaliteta, što dovodi do višeg uređaja

performanse i dugovečnost.

6. Smanjenje vremena zastoja

Zagađivači u procesnim plinovima mogu uzrokovati kvar opreme, što zahtijeva održavanje ili zamjenu.

Korištenjem plinskih filtera, proizvođači mogu smanjiti neočekivane zastoje, održati operativnu efikasnost i

produžiti vijek trajanja kritične opreme.

7. Hemijska kompatibilnost

Mnogi plinovi koji se koriste u poluvodičkim procesima su visoko reaktivni ili korozivni. Filteri za plin su

dizajniran da izdrži ova oštra hemijska okruženja dok efikasno filtrira nečistoće, obezbeđujući

sigurna i efikasna obrada.

Sve u svemu, plinski filteri su od vitalnog značaja za održavanje čistoće, pouzdanosti i sigurnosti poluvodiča

proizvodni proces, koji pomaže u postizanju visokokvalitetnih poluvodičkih proizvoda bez kvarova

takođe štiti vrednu opremu.

Vrste plinskih filtera u procesu proizvodnje poluvodiča

U procesu proizvodnje poluvodiča koriste se različite vrste plinskih filtera za rješavanje različitih problema

faze i izazovi u vezi sa čistoćom gasa i zaštitom opreme.

Tipovi plinskih filtera koji se obično koriste uključuju:

1. Filteri za čestice

*Svrha: Za uklanjanje čestica, prašine i drugih čvrstih zagađivača iz procesnih plinova.

*Upotreba: Često se instalira u različitim fazama kako bi zaštitili pločice, procesne komore i opremu od kontaminacije česticama.

*Materijal: Obično izrađen od sinteriranog nehrđajućeg čelika, PTFE ili drugih materijala koji osiguravaju trajnost i kemijsku kompatibilnost.

2. Molekularni ili hemijski filteri (Getter filteri)

*Svrha: Za uklanjanje specifičnih molekularnih kontaminanata, kao što su vlaga, kiseonik ili organska jedinjenja, koja mogu biti prisutna u procesnim gasovima.

*Upotreba: Koristi se kada je potreban gas visoke čistoće, kao što je tokom procesa taloženja ili jetkanja.

*Materijal: Često izrađen od aktivnog uglja, zeolita ili drugih adsorbirajućih materijala posebno dizajniranih za hvatanje molekularnih nečistoća.

3. Gasni filteri visoke čistoće

*Svrha: Za postizanje standarda za gas ultra-visoke čistoće (UHP), što je kritično za poluprovodničke procese gde i najmanja nečistoća može uticati na kvalitet proizvoda.

*Upotreba: Ovi filteri se koriste u procesima kao što su hemijsko taloženje pare (CVD) i jetkanje plazmom, gdje nečistoće mogu uzrokovati ozbiljne defekte.

*Materijal: Izrađen od nerđajućeg čelika sa specijalizovanim membranama za održavanje integriteta pod visokim pritiskom i ekstremnim uslovima.

4. Filteri za rasuti gas

*Svrha: Za pročišćavanje plinova na mjestu ulaska ili prije distribucije na proizvodne linije.

*Upotreba: Postavljen uzvodno u sistemu za dovod gasa za filtriranje gasova u rasutom stanju pre nego što se isporuče u pojedinačne alate ili reaktore.

*Materijal: Ovi filteri često imaju veliki kapacitet za rukovanje velikim količinama gasova.

5. Plinski filteri na mjestu upotrebe (POU).

*Svrha: Da bi se osiguralo da gasovi koji se isporučuju svakom specifičnom alatu za obradu ne sadrže bilo kakve zagađivače.

*Upotreba: Instalira se neposredno prije nego što se plinovi uvode u procesnu opremu, kao što su komore za nagrizanje ili taloženje.

*Materijal: Napravljen od materijala kompatibilnih sa reaktivnim gasovima koji se koriste u poluprovodničkim procesima, poput sinterovanog metala ili PTFE.

6. Inline plinski filteri

*Svrha: Omogućiti inline filtraciju za gasove koji se kreću kroz distributivni sistem.

*Upotreba: Instaliran unutar gasovoda na ključnim tačkama, obezbeđujući stalnu filtraciju u celom sistemu.

*Materijal: Sinterovani nerđajući čelik ili nikl kako bi se osigurala hemijska kompatibilnost sa gasovima.

7. Površinski plinski filteri

*Svrha: Za direktnu montažu na komponente plinske ploče za uklanjanje čestica i molekularnih zagađivača.

*Upotreba: Uobičajeni u uskim prostorima, ovi filteri pružaju efikasnu filtraciju na mjestu upotrebe u kritičnim aplikacijama.

*Materijal: Nehrđajući čelik visoke čistoće za izdržljivost i kompatibilnost s plinovima za proizvodnju poluvodiča.

8. Sub-mikronski filteri

*Svrha: Za filtriranje ekstremno malih čestica, često malih veličina od submikrona, koje još uvijek mogu uzrokovati značajne defekte u poluvodičkim procesima.

*Upotreba: Koristi se u procesima koji zahtijevaju najviši nivo filtracije za održavanje opskrbe ultra čistim plinom, kao što je fotolitografija.

*Materijal: Sinterovani metalni ili keramički materijali visoke gustine koji mogu efikasno uhvatiti čak i najsitnije čestice.

9. Filteri sa aktivnim ugljem

*Svrha: Za uklanjanje organskih zagađivača i isparljivih gasova.

*Upotreba: Koristi se u aplikacijama gdje je potrebno ukloniti plinovite nečistoće kako bi se spriječila kontaminacija pločica ili poremećaji reakcije.

*Materijal: Materijali sa aktivnim ugljenom dizajnirani da adsorbuju organske molekule.

10.Sinterirani metalni plinski filteri

*Svrha: Za efikasno uklanjanje čestica i nečistoća, nudeći strukturnu čvrstoću i otpornost na visoki pritisak.

*Upotreba: Široko se koristi u više faza poluprovodničkog procesa gdje je potrebno robusno filtriranje.

*Materijal: Obično izrađen od sinteriranog nehrđajućeg čelika ili drugih metalnih legura kako bi izdržao oštra okruženja i kemikalije.

11.Hidrofobni plinski filteri

*Svrha: Da bi se spriječilo da vlaga ili vodena para uđu u mlaz plina, što je kritično u određenim procesima koji su osjetljivi čak i na tragove vlage.

*Upotreba: Često se koristi u procesima kao što su sušenje vafla ili jetkanje plazmom.

*Materijal: Hidrofobne membrane, kao što je PTFE, kako bi se osiguralo da plinovi ostaju bez kontaminacije vlagom.

Ovi različiti tipovi filtera za gas pažljivo su odabrani na osnovu njihovih specifičnih svojstava, kompatibilnosti materijala i prikladnosti za jedinstvene uslove procesa proizvodnje poluprovodnika. Prava kombinacija filtera je neophodna za održavanje najvišeg nivoa čistoće gasa, obezbeđivanje stabilnosti procesa i sprečavanje kvarova u poluvodičkim uređajima.

Neka FAQ o poluvodičkim filterima za gas

FAQ 1:

Šta su poluvodički filteri za gas i zašto su važni?

Poluvodički plinski filteri su kritične komponente u procesu proizvodnje poluvodiča.

Dizajnirani su za uklanjanje nečistoća i zagađivača iz procesnih plinova, kao nprkiseonik,

azot, vodonik i razni hemijski gasovi.

Ove nečistoće mogu značajno uticati na kvalitet, prinos i pouzdanost poluvodičkih uređaja.

Efikasnim filtriranjem gasnih tokova, poluprovodnički filteri gasa pomažu da se:

1. Održavajte visoku čistoću:

Osigurajte da plinovi koji se koriste u proizvodnom procesu ne sadrže zagađivače koji bi mogli smanjiti performanse uređaja.

2.Spriječite oštećenje opreme:

Zaštitite osjetljivu poluvodičku opremu od čestica i kemijske kontaminacije, što može dovesti do skupih zastoja i popravki.

3. Poboljšajte prinos proizvoda:

Smanjite kvarove i kvarove uzrokovane nečistoćama koje se prenose plinom, što rezultira većim proizvodnim prinosima.

4. Poboljšajte pouzdanost uređaja:

Minimizirajte dugoročnu degradaciju poluvodičkih uređaja zbog problema vezanih za kontaminaciju.

FAQ 2:

Koje su uobičajene vrste poluvodičkih plinskih filtera?

U proizvodnji poluvodiča koristi se nekoliko vrsta plinskih filtera, a svaki je dizajniran za uklanjanje

specifične vrste zagađivača.

Najčešći tipovi uključuju:

1.Filteri za čestice:

Ovi filteri uklanjaju čvrste čestice, kao što su prašina, vlakna i metalne čestice, iz tokova gasa.

Obično su napravljeni od materijala kao što su sinterovani metalni, keramički ili membranski filteri.

2. Kemijski filteri:

Ovi filteri uklanjaju hemijske nečistoće, kao što su vodena para, ugljovodonici i korozivni gasovi.

Često se zasnivaju na principima adsorpcije ili apsorpcije, koristeći materijale poput aktivnog ugljena,

molekularna sita ili hemijski sorbenti.

3.Kombinirani filteri:

Ovi filteri kombinuju mogućnosti filtera za čestice i hemijskih filtera za uklanjanje obe vrste

kontaminanti. Često se koriste u kritičnim aplikacijama gdje je neophodna visoka čistoća.

FAQ 3:

Kako se biraju i dizajniraju poluvodički filteri za plin?

Odabir i dizajn poluvodičkih plinskih filtera uključuje nekoliko faktora, uključujući:

* Zahtjevi za čistoću plina:

Željeni nivo čistoće za specifičnu struju gasa određuje efikasnost i kapacitet filtracije filtera.

* Brzina protoka i pritisak:

Količina gasa koji se filtrira i radni pritisak utiču na veličinu, materijal i konfiguraciju filtera.

* Vrsta i koncentracija zagađivača:

Specifični tipovi zagađivača prisutnih u struji gasa diktiraju izbor filterskog medija i njegove veličine pora.

*Temperatura i vlažnost:

Radni uslovi mogu uticati na performanse i životni vek filtera.

*Cijena i održavanje:

Moraju se uzeti u obzir početni troškovi filtera i zahtjevi za njegovo tekuće održavanje.

Pažljivim razmatranjem ovih faktora, inženjeri mogu odabrati i dizajnirati filtere za plin koji zadovoljavaju specifičnosti

potrebe procesa proizvodnje poluprovodnika.

Koliko često treba mijenjati plinske filtere u proizvodnji poluvodiča?

Učestalost zamjene plinskih filtera u proizvodnji poluvodiča ovisi o nekoliko faktora, uključujući i vrstu

proces, nivo kontaminanata i specifičan tip filtera koji se koristi. Tipično, plinski filteri se redovno mijenjaju

raspored održavanja kako bi se spriječio svaki rizik od kontaminacije,često svakih 6 do 12 mjeseci, u zavisnosti od uslova korišćenja

i preporuke proizvođača filtera.

Međutim, rasporedi zamjene mogu se uvelike razlikovati ovisno o radnom okruženju. na primjer:

*Procesi visoke kontaminacije:

Filteri će se možda morati češće mijenjati ako su izloženi visokim razinama

kontaminacija česticama ili molekulama.

*Kritične aplikacije:

U procesima koji zahtijevaju izuzetno visoku čistoću (npr. fotolitografija), filteri se često zamjenjuju

preventivno kako bi se osiguralo da kvalitet plina nije ugrožen.

Praćenje diferencijalnog pritiska na filteru uobičajena je metoda za određivanje kada filter treba zamijeniti.

Kako se zagađivači nakupljaju, pad tlaka u filteru se povećava, što ukazuje na smanjenje efikasnosti.

Ključno je zamijeniti filtere prije nego što njihova efikasnost opadne, jer svako kršenje čistoće plina može uzrokovati značajne kvarove,

smanjuju prinos, pa čak i dovode do oštećenja opreme.

Od kojih materijala se izrađuju plinski filteri za primjenu u poluvodičima?

Filteri za plin koji se koriste u poluvodičkim aplikacijama napravljeni su od materijala koji mogu održavati najviše standarde čistoće

i izdržati oštra okruženja u proizvodnji. Uobičajeni materijali uključuju:

*Nerđajući čelik (316L): Najrasprostranjeniji materijal zbog svoje hemijske otpornosti, mehaničke čvrstoće i

mogućnost izrade sa preciznim veličinama pora upotrebom tehnologije sinterovanja. Pogodan je za filtriranje i reaktivnih

i inertnih gasova.

*PTFE (politetrafluoroetilen): PTFE je hemijski inertan materijal koji se koristi za filtriranje visoko reaktivnog ili korozivnog

gasovi. Ima odličnu hemijsku kompatibilnost i hidrofobna svojstva, što ga čini idealnim za osjetljive na vlagu

procesi.

*Nikal i Hastelloy:

Ovi materijali se koriste za aplikacije na visokim temperaturama ili za procese koji uključuju agresivne hemikalije

gdje bi se nerđajući čelik mogao degradirati.

*Keramika:

Keramički filteri se koriste za aplikacije gdje je potrebna ekstremna temperaturna otpornost ili za submikronske

filtracija čestica.

Izbor materijala zavisi od vrste gasa, prisustva reaktivnih vrsta, temperature i

ostali parametri procesa. Materijali moraju biti nereaktivni kako bi se osiguralo da ne unose nikakve nečistoće

ili čestice u proces, čime se održava nivo čistoće gasa potreban za proizvodnju poluprovodnika.

Koja je uloga filtara na mjestu upotrebe (POU) u proizvodnji poluvodiča?

Point-of-Use (POU) filteri su neophodni u proizvodnji poluprovodnika, jer osiguravaju da se plinovi pročišćavaju neposredno prije

ulazak u procesne alate. Ovi filteri pružaju konačnu zaštitu od zagađivača koji su možda ušli u tok plina

tokom skladištenja, transporta ili distribucije, čime se poboljšava stabilnost procesa i kvalitet proizvoda.

Ključne prednosti POU filtera:

*Pozicionirano blizu kritične opreme (npr. komore za nagrizanje ili taloženje) kako bi se spriječilo da kontaminacija dopre do pločice.

*Uklonite i čestice i molekularne nečistoće koje bi mogle biti unesene sistemom za rukovanje gasom ili izloženošću okoline.

*Obezbedite najveći mogući kvalitet gasa koji se isporučuje u procesni alat, štiteći opremu i poboljšavajući kvalitet proizvedenih uređaja.

*Smanjite varijabilnost procesa, povećajte prinos i smanjite nivoe nedostataka.

*Neophodan u naprednim poluprovodničkim okruženjima gdje čak i manje nečistoće mogu značajno utjecati na produktivnost i pouzdanost proizvoda.

Kako plinski filteri sprječavaju zastoje opreme u poluvodičkim procesima?

Filteri za plin sprječavaju zastoj opreme u poluprovodničkim procesima tako što osiguravaju da procesni plinovi dosljedno budu oslobođeni

zagađivača koji bi mogli oštetiti proizvodnu opremu. Proizvodnja poluprovodnika uključuje upotrebu visoko

osetljivu opremu, uključujući komore za taloženje, mašine za plazma jetkanje i fotolitografske sisteme.

Ako zagađivači kao što su prašina, vlaga ili reaktivne nečistoće uđu u ove mašine, mogu uzrokovati niz problema,

od začepljenja ventila i mlaznica do oštećenja površina pločice ili unutrašnjosti reaktora.

Korištenjem visokokvalitetnih plinskih filtera, proizvođači sprječavaju unošenje ovih zagađivača, smanjujući vjerovatnoću

neplanirano održavanje i kvarovi opreme. Ovo pomaže u održavanju stabilnih rasporeda proizvodnje, minimiziranju

skupo vrijeme zastoja i izbjegavanje značajnih troškova povezanih s popravkama ili zamjenama.

Osim toga, dobro održavani filteri pomažu produžiti vijek trajanja ključnih komponenti, kao što su regulatori protoka, ventili i reaktori,

čime se povećava ukupna efikasnost i profitabilnost proizvodnog procesa.

Dakle, nakon što provjerite neke detalje o poluvodičkim plinskim filterima, ako još imate pitanja.

Spremni da optimizirate svoj proizvodni proces poluvodiča pomoću visokokvalitetnih rješenja za filtraciju plina?

Kontaktirajte HENGKO danas za stručno vodstvo i prilagođena rješenja koja će zadovoljiti vaše potrebe.

Nakon provjere nekih detaljnih informacija o poluvodičkom plinskom filteru, ako imate još pitanja?

Spremni da optimizirate svoj proizvodni proces poluvodiča pomoću visokokvalitetnih rješenja za filtraciju plina?

Kontaktirajte HENGKO danas za stručno vodstvo i prilagođena rješenja koja će zadovoljiti vaše potrebe.

Pošaljite nam e-poštu naka@hengko.comza više informacija.

Naš tim je tu da vam pomogne da poboljšate efikasnost proizvodnje i kvalitet proizvoda.