Visokoperformansni IGS površinski montirani C-zaptivni filteri za sisteme za dovod poluprovodničkih gasova
Opis
HENGKO površinski montažni filteri dizajnirani su da zadovolje zahtjevne zahtjeve integriranih plinskih sistema koji se koriste u poluprovodničkim OEM alatima. Nudeći vodeću filtraciju u industriji na 0,003 µm, ovi filteri osiguravaju izuzetne performanse i pouzdanost s efikasnošću presretanja čestica od ≥99,9999999% (9-LRV) pri 120 slpm.
Izrađeni od robusnog nehrđajućeg čelika 316L sinteriranog u prahu za filter element i kućište, ovi filteri su u skladu sa specifikacijama SEMI F86-0304, s komponentama s dva priključka prilagođenim za sisteme distribucije plina od 1,125” s konfiguracijom C-zaptivke. Podržavaju maksimalni ulazni pritisak od 3,4 MPa na 100°C i maksimalnu radnu razliku pritiska od 0,69 MPa na 100°C.
Ovi specijalizirani filteri, kompatibilni sa specifikacijama zaptivki C-tipa i W-tipa, postižu čistoću nizvodno s oslobađanjem čestica
Sa površinskom završnom obradom Ra< 1,6 µm na vanjskoj strani i Ra< 0,13 µm na unutrašnjosti, dizajnirani su da izdrže visoke temperature do 460°C. Projektovani za jednostavnu integraciju i nadogradnje modularnog dizajna, ovi filteri pojednostavljuju instalaciju i održavanje, pomažući u optimizaciji performansi sistema u primjenama isporuke i upravljanja poluprovodničkim gasom.
Karakteristika proizvoda
▶ Ukupna konstrukcija od nehrđajućeg čelika 316L
▶ Minijaturizirani dizajn, kompaktna struktura, ušteda prostora
▶ Odlične karakteristike zamjene i desorpcije plina
▶ Otporno na visoke temperature, visoki pritisak i koroziju
▶ Kućište od elektropoliranog nehrđajućeg čelika 316L
▶ Jednostavna i efikasna instalacija i održavanje
▶ Mehaničko zaptivanje, strukturno nezavareno za medij
Tehnički list
| Tehnički parametri | Vrijednosti |
|---|---|
| Materijal filterskog elementa | Sinterovani prah od nehrđajućeg čelika 316L |
| Materijal kućišta | Nehrđajući čelik 316L |
| Maksimalni ulazni pritisak | 3,4 MPa pri 100°C |
| Maksimalna radna razlika | 0,69 MPa pri 100°C |
| Stopa curenja helijuma za verifikaciju | 1x10⁻¹¹ cc/min |
| Stopa curenja helija | 1x10⁻⁹ cc/min |
| Površinska obrada | Vanjska površina Ra< 1,6 μm |
| Unutrašnja površina Ra< 0,13 μm | |
| Maksimalna radna temperatura | 460°C |
| Efikasnost presretanja čestica | ≥99,9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (referentni MPPS, sve čestice) |
| Čistoća nizvodno | Oslobađanje čestica:< 0,03 čestica/litri (< 1 čestica/ft³) |
| Isparljive materije:< 10 ppb vlage | |
| Veličina presretanja čestica | ≥0,003 μm |
| Raspon protoka | 0 ~ 120 slpm |
Veličina
Evo kataloškog broja koji možete naručiti i detalja o veličini:
| Model proizvoda | Brzina protoka | Visina H (mm) | Preciznost filtracije | Nivo čišćenja |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51,6 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82,9 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126,2 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167,9 | 0,003 μm | C |
Tipične primjene
Za upotrebu sa W-zaptivkama i C-zaptivkama, modularnim sistemima za dovod gasa za površinsku montažu od 1,125” i 1,5”.
Pošaljite nam svoju poruku:
